电子厂防静电措施实践篇(四)车间的个别静电对策之一

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这章节开始将记述防静电对策的个别内容。 

另外░,下表为半导体取拿工程中静电对策的实施内容及必要项目。所以在实施时要与各事业部的静电对策担当者进行商谈检讨。再说░,这里的所谓重点管理工程是指对工程上有带电电位在50V以下的设计必要的场所进行估计并区分。◎必须实施○实施△根据需要实施

工厂环境

  1. 静电对策用接地线的设置(NO.①-1)

目的:为了将已产生的静电导入接地

实施顺序 

1)对直径为1.6mm 以上的导线░,与备用接地线分开单独铺设静电对策用接地线。 

2)静电对策用接地线进行专门接地时░,跟设备接地一样通过接地点接地。  

要点

1)对于静电对策用接地线░,如果有外伤保护和耐蚀性要求的话░,使用绝缘皮导线。由于很难发现导线内部导线断裂░,所以1年至少进行一次导通测试。 

2)为了防止人体在设备漏电时触电并进行防静电对策░,各接地点接地间 的阻值应按以下值设定。 

接地间阻值:7.5*10^5-1.0*10^9Ω(IEC 61340) 

3)工厂外的接地以D接地工事为基本░,在连接超过300V低电压电路时░,进行C 种接地工事░,(旧特别第3种:接地电阻10Ω以下)※ 

另外░,对于接地电阻1年至少应确认一次。 

4)由于铺设静电对策用接地线有一定的困难░,如果不得已要利用设备接地线的话░,静电手环和接地线阻值应保持在适当的范围内以确保人身安全。

2.运用加湿器控制工程内的温度(NO.①-2)

目的:为了避免因湿度上升绝缘体表面阻率下降造成静电的产生。

实施顺序

1)根据外面空气的流入风量及室内室外的绝对湿度░,计算必要的加湿量(kg/h)。

2)充分考虑蒸气品质•●、设备能力•●、维修保养性等各方面因素░,导入加湿器。

3)设置后在多个场所设置湿度监控器进行湿度管理。 

要点

1)如果湿度在65%以上将会有明显的影响░,可能增加作业者的不快感。比如说░,湿度为60%温度为22℃时░,不会感觉到不快░,但到了28℃ 就会感到不快。关注与温度的关系░,湿度保持在50~60%较好。

2)加湿时░,注意金属与壁上的结露。另外░,若将IC长时间置于高湿度的 环境中░,有可能发生膨胀变形所以要特别留意。 

3)还有░,滴下浸透方式由于各不相同░,各有各的特点。

作业环境——作业床对策(NO.②-1)

实施项目:防止作业床带电

目的:为了防止因作业带电 

实施顺序 

1)铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫并连接接地接点。 

2)另外再铺上不锈钢钢板░,增加1MΩ的电阻连接。 

要点<导电垫>(静电皮)

1)2层构造的导电垫(绿)░,应从内侧的黑面接地。 

2)阻值高的虽较便宜░,但存在衰减时间变长的缺点。 

同样░,单层构造的导电垫(黑)也较便宜░,但随着面积的增大阻值也 相应变高░,所以选定时应多加留意。 

3)一旦导电垫表面变脏░,表面阻率也变大░,同时衰减时间变长░,应使用 加入了界面活性剂的中性洗涤剂进行擦拭。 

4)为了确认效果░,要求根据「⑧-2接地间(泄露)阻值的测定方法」定期 检查接地间(泄露)阻值。 

※规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340) 

5)导电垫的接地点应用螺丝等进行机械固定。 <不锈钢钢板> 

1)不要忘记在接地线接续点之间放入1MΩ的电阻。

实施项目:搬运路径的接地处理(NO.②-3)

目的:为了防止运输基板时产生静电。 

实施顺序

1)为确保搬运路径的畅通░,在其范围内铺设不锈钢钢板。或是在范围内每隔1米铺设10厘米的不锈钢钢板。

2)另外在通道上再铺上导电垫。 

要点

1)不锈钢钢板之间用接地线连接░,使用包含1MΩ电阻的防静电用接地线。 

2)对搬运用的台车应进行防静电对策。

作业台对策(NO.②-2

实施项目:作业台前铺导电垫并接地

目的:为了将作业台上产生的静电适度地安全导入地下。 

实施顺序

1)铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫░,并连接接地点。 

2)导电垫接地点接续时░,鉚钉等注意不要外突。 

要点 

1)橡胶垫为绝缘体░,可以绝对地避免高电位的带电。 

2)作业台表面铺设金属板可以避免部品带电时突然放电造成损伤。 

3)导电垫的表面变脏阻率就变高░,也容易带上电░,所以应使用加入了界面 活性剂的中性洗剂进行擦拭。 

4)作为效果确认░,根据「⑧-2接地间(泄漏)阻值的测定方法」░,定期检查确认 接地间(泄漏)阻值。 

※规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω (IEC 61340)

作业椅对策(NO.②-3

实施项目:作业椅防静电对策

目的:为了将椅子与作业服摩擦接触产生的静电导入地下。 

实施顺序

1)使用防静电作业椅░,如果轮子不能直接接地的话░,就直接通过链子接地面的接地线。 

2)对于没有进行静电对策的作业椅░,应套上防静电的背套和座套并 与链子相连░,链子的一端与地面相接。 

3)地面应铺上导电垫或不锈钢钢板进行静电对策。 

要点

1)由于链子会因表面腐蚀出现导通不安定░,所以一个月应检查一次。 

2)链子有可能浮起░,所以作业前应进行检查。

导电垫或不锈钢钢需加入1MΩ的电阻接接地线链 

〈参考:接地间阻值的确认〉 

效果确认

1)导电轮和链子等接地的部分应接触金属板。 

2)座垫和金属板上都应连接测定电极。

3)绝缘电阻针输出功率100V░,30秒后才能

读取数值。

4)规格:7.5*10^5~1.0*10^9Ω以(上限值IEC 61340)进行判定。

※测定机器参照「⑧-2接地间电阻的测定方法」。

台车(周转车)对策(NO.②-4

实施项目:运载半导体的台车应进行防静电对策

目的:为了防止台车移动中带电。 

实施顺序

1)搭载面的表面应铺设表面阻率为10^4~10^9Ω/□的导电垫。

2)导电垫先与链子相连░,再将链子的一端连接地面。

3)地面一定要铺设导电垫和不锈钢钢板进行对策。

要点

1)由于与金属板重叠容易导致导通的不稳定░,所以导电垫的接续应用螺丝等进行机械性固定。

2)台车的链子不能生锈。 

3)车轮如果具静电扩散性的话░,从各段的导电垫到车轮需要接地░,同时可以取消链子。 

电子厂防静电措施实践篇(四)车间的个别静电对策之一到此为止░,想了解更多知识的请关注我们的公众号:dgbabu

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